Kính hiển vi siêu âm Nordson Sonoscan D9650™ C‑SAM®
Scanning Acoustic Microscope
7₫
Nordson SONOSCAN D9650™ C-SAM
Hệ thống AMI D9650 C-SAM® là kính hiển vi âm học (acoustic microscope) tiên tiến, được thiết kế cho đánh giá không phá hủy chính xác trong sản xuất bán dẫn. Hệ thống này được công nhận toàn cầu về độ tin cậy trong các ứng dụng phân tích phòng thí nghiệm định kỳ và sàng lọc linh kiện.
Chụp ảnh âm học độ phân giải cao (High-Resolution Acoustic Imaging):
Phát hiện voids, delamination, nứt, và các khuyết tật vật liệu.
Phần mềm Sonolytics 2:
Giao diện thân thiện, tương thích Windows 10®, dễ sử dụng cho môi trường đa ngôn ngữ.
Chụp ảnh đa độ sâu đồng thời (Simultaneous Multi-Depth Imaging):
Ghi nhận lên đến 100 độ sâu trong một lần quét.
Công nghệ PolyGate™ nâng cao
Kết hợp Multi-Gate™ và Probing-Gate™, hỗ trợ chụp ảnh tập trung đơn hoặc đa tiêu điểm.
Thiết lập tối đa 100 gate trên mỗi kênh.
Chế độ kiểm tra tùy chỉnh (Customizable Inspection Modes):
Hỗ trợ C-Scan, B-Scan, Bulk Scan, 3D TOF, và THRU-Scan™.
Kiểm tra tự động (Automated Inspection):
Chức năng AutoScan tối ưu khay, lấy nét và thiết lập quét để nâng cao hiệu quả.
Phần cứng quét tuyến tính (Linear Motor Scanner)
Bộ điều khiển quét điện tử giảm rung, tăng độ chính xác.
Tower-mounted scan reference platform và sample fixture nâng cao độ ổn định khi quét.
Dễ dàng truy cập khu vực quét:
Thiết kế thuận tiện cho nạp và lấy mẫu.
Chế độ phân tích B-Scan định lượng (Quantitative B-Scan Analysis Mode – Q-BAM™):
Cung cấp hình ảnh cắt ngang ảo, dữ liệu polarity, amplitude và depth chính xác.
Hệ thống quản lý nước tùy chọn:
Bao gồm Waterfall™ Transducer, tuần hoàn nước và kiểm soát nhiệt độ inline.
Phân tích hình ảnh kỹ thuật số tùy chọn (Digital Image Analysis – DIA™):
Sử dụng thuật toán tiên tiến để định lượng dữ liệu âm học, cho phép thiết lập tiêu chí chấp nhận/từ chối tự động chính xác.
Tính năng | Thông số |
|---|---|
Diện tích quét | 314 × 314 mm |
Độ chính xác X-Y | ±0.5 µm trên trục X, Y và Z |
Tần số Pulser/Receiver | 5 MHz – 230 MHz |
Kiểm soát Gain | 95 dB, bước 0.5 dB |
Digital Gating | 1 ns – 10,000 ns |
Chế độ kiểm tra | A-Scan, B-Scan, C-Scan, Bulk Scan, Multi-Scan, Surface Scan, 3D TOF, THRU-Scan™ |
Phân tích sóng | Amplitude, Profile, Time Difference, ASF™, Polarity Detection |
Phần mềm | Sonolytics 2 trên Windows 10 |
Kích thước máy | 1892 mm (W) × 737 mm (D) × 1588 mm (H) |
Trọng lượng | 420 – 500 kg |
Nguồn điện | 90–250 V AC, 50/60 Hz, 1 pha |
Hệ thống nước | Tùy chọn Water Management & WaterFall™ cho quét không nhúng mẫu |
Kiểm tra gói bán dẫn (Semiconductor Package Inspection): Phát hiện voids, nứt, delamination trong các gói IC.
Kiểm tra cấp wafer (Wafer-Level Testing): Xác định khuyết tật thin-film, delamination, và bất đồng nhất vật liệu.
Kiểm tra Flip-Chip & BGA: Đảm bảo tính toàn vẹn underfill, chất lượng bump, và độ bền kết nối hàn.
Phân tích MEMS & Sensor: Đánh giá tính toàn vẹn cấu trúc và độ bám dính trong vi mạch.
Phân tích lỗi & kiểm tra độ tin cậy: Phân tích không phá hủy các khuyết tật và chất lượng vật liệu.
