Bộ Mẫu Chuẩn Cơ Bản Cho SEM & EPMA - Basic Calibration Set (AGS1928) Tích Hợp Cốc Faraday
Bộ mẫu chuẩn cơ bản AGS1928 (Basic Calibration Set) mang đến một giải pháp hiệu chuẩn "6 trong 1" vô cùng nhỏ gọn nhưng đầy đủ công năng. Sản phẩm được thiết kế đặc biệt để giúp các kỹ sư thực hiện hàng loạt các bài kiểm tra hiệu suất đầu dò, đánh giá độ nhạy nguyên tố và đo lường sự ổn định của chùm tia chỉ trong một lần đưa mẫu vào buồng chân không.
Toàn bộ các thành phần của bộ mẫu chuẩn được khảm tinh xảo trên một khối đế kim loại hình tròn với kích thước tiêu chuẩn: Đường kính 25mm và Độ dày 5mm. Cấu trúc nhỏ gọn này giúp AGS1928 tương thích hoàn hảo với bệ giữ mẫu (Stage/Holder) của hầu hết các thương hiệu Kính hiển vi điện tử hàng đầu hiện nay.
Khối mẫu tích hợp 2 thành phần chính:
6 mẫu chuẩn vật liệu (Standards): Bao gồm các nguyên tố tinh khiết, hợp chất và khoáng vật đa nguyên tố.
1 Cốc Faraday (Faraday Cup): Được chế tạo từ Molybdenum với đường kính lỗ 150 µm.
Mẫu Chuẩn (Standard) | Đặc Tính Vật Liệu | Ứng Dụng Hiệu Chuẩn Phổ Biến (Calibration & Checks) |
Bore Nitride (BN) & Carbon (C) | Nguyên tố nhẹ (Z thấp) | Kiểm tra nguyên tố nhẹ: Đánh giá độ phân giải và độ nhạy của đầu dò với các nguyên tố có mức năng lượng tia X cực thấp. Phát hiện nhiễm bẩn: Giúp kỹ sư xác định xem cửa sổ siêu mỏng (Thin window) của đầu dò EDS có bị bám bẩn (Contamination/Ice buildup) làm cản trở việc thu nhận tia X năng lượng thấp hay không. |
Manganese (Mn), Cobalt (Co), Đồng (Cu) | Kim loại chuyển tiếp tinh khiết | Hiệu chuẩn thang năng lượng (Energy Scale Calibration): Cài đặt và tinh chỉnh vị trí các đỉnh phổ (Peaks) về đúng mức năng lượng chuẩn quốc tế. Kiểm tra độ phân giải: Đánh giá khả năng phân tách điểm và độ sắc nét (FWHM - Full Width at Half Maximum) của đầu dò tại các mức năng lượng đặc trưng (ví dụ: đỉnh Cu K-alpha). |
Spessartine Garnet (Mn3Al2Si3O12) | Khoáng vật đa nguyên tố phức tạp | Kiểm tra khả năng thu nhận và định lượng đồng thời nhiều nguyên tố (Mn, Al, Si, O) trong cùng một hợp chất, đánh giá độ chính xác của phần mềm ZAF/Phi-Rho-Z. |
Trong phân tích định lượng (Quantitative Analysis), số lượng tia X sinh ra tỷ lệ thuận với lượng điện tử bắn vào mẫu. Nếu dòng chùm tia bị biến động, kết quả % khối lượng nguyên tố sẽ sai lệch hoàn toàn.
Cốc Faraday 150 µm trên khối AGS1928 đóng vai trò như một "bẫy điện tử" tuyệt đối. Khi chiếu thẳng chùm tia electron vào lỗ sâu này, toàn bộ dòng điện tử sẽ được giữ lại và truyền xuống bệ máy. Khi kết nối với một ampe kế tĩnh điện (Picoammeter), kỹ sư có thể đo lường và theo dõi Độ ổn định của dòng chùm tia (Probe Current Stability) theo thời gian thực - một bước hiệu chuẩn không thể thiếu trên các hệ thống EPMA và WDS cao cấp.
