Sợi Đốt LaB6 (Lanthanum Hexaboride) Kimball Physics
Trong các ứng dụng hiển vi điện tử đòi hỏi độ phân giải siêu cao và khả năng vi phân tích (EDX, EELS) chính xác, sợi đốt Tungsten truyền thống thường bộc lộ những giới hạn về độ sáng và tuổi thọ. Đây là lúc Cathode tinh thể đơn Lanthanum Hexaboride (LaB6) trở thành sự lựa chọn nâng cấp tiêu chuẩn.
Dòng sản phẩm ES-423E (Extended Life) từ hãng Kimball Physics (Mỹ) là nguồn phát xạ nhiệt điện tử hiệu suất cao, được thiết kế để tương thích với hầu hết các thương hiệu Kính hiển vi điện tử (SEM, TEM) và thiết bị quang học điện tử (Electron Lithography, X-Ray Sources) trên toàn cầu.
Độ sáng cực cao (High Brightness): Đạt mức trên 1x10⁶ A/cm² steradian, mang lại hình ảnh SEM sắc nét hơn và cải thiện hiệu suất phân tích quang phổ.
Độ phân tán năng lượng thấp (Low Energy Spread): Chỉ khoảng 0.4 eV (so với ~1.5 eV của Tungsten), cực kỳ lý tưởng cho chụp ảnh TEM độ phân giải cao (High-resolution TEM).
Tuổi thọ siêu bền (Extended Lifetime): Khi vận hành trong môi trường chân không đạt chuẩn (dưới 10⁻⁷ Torr), LaB6 có thể hoạt động liên tục hơn 6 tháng (lên tới 4000 giờ) mà không suy giảm hiệu suất.
Tính ổn định (Exceptional Stability): Hoạt động liên tục ở nhiệt độ tiêu chuẩn (khoảng 1700 - 1900K) giúp ổn định nhiệt cho súng điện tử, rút ngắn thời gian chờ đợi (warm-up time) trước khi thực hiện các phép đo định lượng.
Thách thức lớn nhất của LaB6 là vật liệu này có tính phản ứng hóa học rất mạnh ở nhiệt độ cao. Kimball Physics đã giải quyết vấn đề này bằng thiết kế bệ đỡ độc quyền:
Tinh thể đơn LaB6 (định hướng <100>) được gắn trên một thanh gia nhiệt bằng Carbon nguyên khối (Single-piece Carbon Heater Rod) thông qua một vành đai carbon (Carbon Ferrule).
Thiết kế này đảm bảo không có dòng điện nung nóng nào đi trực tiếp qua tinh thể LaB6, triệt tiêu hoàn toàn các khớp nối kim loại chịu nhiệt cao. Do đó, cấu trúc ES-423E gần như không thể bị phá hủy bởi các lỗi quá nhiệt (over-temperature) vô ý từ người dùng, ngăn ngừa hiện tượng phản ứng hóa học hoặc trôi cơ học (mechanical drift).
Kimball Physics cung cấp 3 định dạng hình học đỉnh (Microflats) để tối ưu hóa cho từng ứng dụng cụ thể:
ES423E Style 90/15 (Nón 90°, Mặt phẳng vát 15µm): Là phiên bản tiêu chuẩn (Standard style). Mang lại sự cân bằng hoàn hảo giữa tuổi thọ dài, độ ổn định và tính đồng nhất. Phù hợp cho hầu hết các tác vụ SEM thông thường.
ES423E Style 90/20 (Nón 90°, Mặt phẳng vát 20µm): Thiết kế cho các máy SEM cần vận hành ở dòng phát xạ cao (từ 60 - 100µA). Tuổi thọ của dòng này rất ấn tượng nếu hệ thống duy trì được độ chân không tốt.
ES423E Style 60/06 (Nón 60°, Mặt phẳng vát 6µm): Cung cấp độ sáng (brightness) cao nhất. Ứng dụng chủ lực cho TEM độ phân giải cao, nơi tổng dòng chùm tia bị giới hạn để giảm thiểu độ phân tán năng lượng. Do độ sáng quá cao, tuổi thọ thực tế của cấu hình này sẽ ngắn hơn một chút so với dòng 90/15.
Mã Đặt Hàng | Phân Loại Cấu Hình | Tương Thích Thiết Bị |
Hệ Đế AEI (Camscan, Cameca, Electroscan, LEO/Leica/Zeiss - Trừ S4-10) | ||
AGA0692-9015 | LaB6 90/15 (AEI Base) | Camscan, LEO, Zeiss (EVO) |
AGA0692-9020 | LaB6 90/20 (AEI Base) | Camscan, LEO, Zeiss (EVO) |
AGA0692-6006 | LaB6 60/06 (AEI Base) | Camscan, LEO, Zeiss (EVO) |
Hệ Đế FEI / Philips (Trừ dòng XL30 & AMR 1200) | ||
AGA0690-9015 | LaB6 90/15 (FEI Base) | FEI / Philips, AmRay/AMR |
AGA0690-9020 | LaB6 90/20 (FEI Base) | FEI / Philips, AmRay/AMR |
AGA0690-6006 | LaB6 60/06 (FEI Base) | FEI / Philips, AmRay/AMR |
Hệ Đế Đặc Biệt (FEI XL30, JEOL, Hitachi, v.v.) | ||
AGA0691-9020 | LaB6 90/20 (FEI XL30 Base) | Dành riêng cho FEI XL30 |
AGA0693-9015 | LaB6 90/15 (JEOL K Base) | JEOL K-type (có vòng kim loại) |
AGA0693-6006 | LaB6 60/06 (JEOL K Base) | JEOL K-type (có vòng kim loại) |
AGA0698-9015 | LaB6 90/15 (Hitachi S Base) | Hitachi H/S/X Series |
AGA0698-9020 | LaB6 90/20 (Hitachi S Base) | Hitachi H/S/X Series |
AGA0695-9015 | LaB6 90/15 (ABT 2-pin) | ISI / ABT / Topcon / Coxem |
AGA0694-6006 | LaB6 60/06 (Zeiss Base) | Zeiss DSM/TEM, LEO TEM (Trừ EVO) |
