NudgeInspect cung cấp dịch vụ X-ray Reflectometry (XRR), một kỹ thuật không tiếp xúc, không phá hủy phù hợp cho cả vật liệu vô định hình (amorphous) và tinh thể (crystalline).

Kỹ thuật XRR cho phép:

• Đo lường chính xác độ dày màng – Cung cấp giá trị film thickness tinh vi cho các lớp màng phức tạp.

• Xác định mật độ vật liệu – Đánh giá densities của từng lớp màng.

• Đo độ nhám giao diện – Xác định interfacial roughness của các stack màng, khi biết sơ bộ thành phần hóa học và độ dày của chúng.

XRR là công cụ lý tưởng để phân tích multilayer thin films, kiểm soát chất lượng trong sản xuất bán dẫn, và nghiên cứu vật liệu tiên tiến.

• Nhạy cao với mật độ electron theo phương vuông góc bề mặt – Tối ưu cho phân tích thin films.

• Phù hợp với nhiều loại màng – Hoạt động tốt trên crystalline, amorphous hoặc các film stacks kết hợp.

• Phân tích không phá hủy – Giữ nguyên hiện trạng mẫu trong suốt quá trình đo.

• Cần biết thành phần nguyên tố trước – Elemental composition của vật liệu phải được xác định để phân tích chính xác.

• Cần mô hình hóa nâng cao – Thường phải sử dụng advanced modeling để trích xuất các thông số quan trọng từ dữ liệu.

• Giới hạn với bất đồng chất ngang – Lateral inhomogeneities không thể được tích hợp trực tiếp vào các mô hình XRR.