Bia Phún Xạ Crom Dạng Đĩa (Chromium Disc Targets)
Trong kỹ thuật chuẩn bị mẫu cho Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM) ở độ phóng đại siêu cao (>100,000x), cấu trúc hạt của lớp màng phủ đóng vai trò quyết định. Nếu Vàng (Au) tạo ra các hạt tinh thể quá lớn che lấp chi tiết, thì Crom (Chromium - Cr) lại mang đến một lớp màng dẫn điện với cấu trúc hạt siêu mịn (ultra-fine grain) gần như vô định hình, giúp bảo toàn nguyên vẹn hình thái vi mô của mẫu vật.
Dòng sản phẩm Chromium Disc Targets (Bia phún xạ Crom dạng đĩa) được thiết kế với kích thước và độ dày chuyên biệt, tối ưu hóa cho các hệ thống máy phủ phún xạ sử dụng bơm chân không tuabin phân tử (Turbo Coaters).
Cấu trúc màng siêu mịn: Crom tạo ra lớp phủ mỏng nhưng liên tục, mang lại độ phân giải tối đa cho các ứng dụng nghiên cứu vật liệu nano, linh kiện bán dẫn và màng mỏng.
Độ dày tiêu chuẩn 3.2mm: Khác với các loại bia kim loại quý (Vàng, Bạch kim) thường chỉ dày 0.1 - 0.2mm, bia Crom được gia công với độ dày lên tới 3.2mm. Khối lượng vật liệu lớn này giúp bia chịu được công suất plasma cao, tản nhiệt tốt hơn và ngăn chặn hiện tượng cong vênh do ứng suất nhiệt trong quá trình phóng điện.
Thiết kế đĩa trơn (Plain discs): Dễ dàng thao tác, lắp đặt chắc chắn vào module điện cực Cathode của hệ thống mà không cần các ngàm chuyển đổi phức tạp.
Crom là một kim loại rất dễ bị oxy hóa, do đó nó không thể sử dụng trên các dòng máy phủ chân không thấp thông thường (chỉ dùng bơm quay - rotary pump). Bia phún xạ Crom Type 2 được gia công đặc biệt để tương thích với ngàm của các hệ thống máy phủ chân không cao:
Type 2 (Hỗ trợ hệ thống bơm Turbo): Tương thích hoàn hảo với các dòng máy Agar Turbo Coater và Cressington Turbo Coater.
Mã Đặt Hàng (Part Number) | Mô Tả Kích Thước (Diameter x Thickness) | Loại Thiết Bị (Coater Type) |
AGB7396 | Đĩa Crom (Chromium), 57mm x 3.2mm | Type 2 (Dành cho Turbo Coaters) |
