NudgeInspect cung cấp dịch vụ Hybrid Metrology, kết hợp EDXRF và các kỹ thuật quang học tiên tiến, cho phép đo lường chính xác, không phá hủy thành phần và độ dày của màng mỏng.

Kỹ thuật này giúp các nhà sản xuất bán dẫn kiểm soát biến động quy trình và nâng cao năng suất bằng cách cung cấp đặc trưng chính xác, in-line của các cấu trúc đa lớp phức tạp.

 Ứng Dụng Chính:

• Sản xuất bán dẫn – Front-end và back-end.

• Bán dẫn hợp chất – GaN, SiC, InP, v.v.

• Advanced packaging & interconnects – Kiểm tra chất lượng gói và kết nối cao cấp.

• Phòng thí nghiệm nghiên cứu & phát triển (R&D) – Phân tích và tối ưu hóa vật liệu và quy trình.

• Phân tích không phá hủy – Giữ nguyên mẫu để tiếp tục các bước xử lý hoặc kiểm tra khác.

• Phát hiện nhiều nguyên tố – Bao phủ từ Na đến U, đáp ứng nhu cầu kiểm tra đa dạng vật liệu.

• Độ chính xác cao – Khi hiệu chuẩn đúng, phù hợp cho phân tích thành phần và stoichiometry của màng mỏng.

• Thu thập dữ liệu nhanh – Thích hợp cho kiểm soát quy trình in-line hoặc at-line.

• Hỗ trợ nhiều loại màng – Phân tích cả một lớp và đa lớp, đo độ dày và thành phần.

• Tích hợp Hybrid Metrology – Có thể kết hợp với XRR và các công cụ quang học để đo đa tham số.

• Không cần chân không – Chuẩn bị mẫu tối thiểu hoặc không cần chuẩn bị.

• Bản đồ thành phần và đặc tính – Cung cấp composition, thickness, roughness và uniformity maps cho phân tích chi tiết.

• Khả năng đâm xuyên  hạn chế – Chỉ phân tích bề mặt và gần bề mặt, không đánh giá sâu bên trong.

• Độ nhạy thấp với nguyên tố nhẹ – Ví dụ: H, He, Li.

• Ảnh hưởng ma trận (Matrix Effects) – Có thể gây khó khăn trong định lượng, đặc biệt với các cấu trúc đa lớp.

• Hiệu suất giảm với cấu trúc phức tạp – Thời gian đo tăng khi phân tích multilayer stacks hoặc mapping độ phân giải cao.

• Giới hạn độ phân giải – Giảm khi đo lớp siêu mỏng (<1 nm) hoặc các lớp chôn sâu.

• Kích thước điểm đo (Spot size) – Hạn chế độ phân giải so với một số kỹ thuật quang học hoặc electron-based.

• Hệ thống Hybrid phức tạp – Cần quản lý hiệu chuẩn và hợp nhất dữ liệu nâng cao.

• Bề mặt mẫu – Cần tương đối phẳng và mịn để đạt độ chính xác tối ưu.

• Thông tin tinh thể học hoặc liên kết hóa học – Không cung cấp trực tiếp từ phương pháp này.